Waffer,LCD Mapping Sensor(맵핑센서)

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카세트, FOUP 등에서 웨이퍼의 존재를 감지하는 웨이퍼 매핑 센서입니다.
센서는 적절한 위치의 웨이퍼 및 교차 로트 된 웨이퍼를 감지 할 수 있습니다. 
센서 고유의 설계로 모든 종류의 웨이퍼 (크기, 코팅, 두께 등)를 감지 할 수 있습니다. 

질화 처리 된 코팅 웨이퍼 감지
솔리드 스테이트 클래스 I 레이저 다이오드 (785 nm)
LED 바는 반사광 및 임계 레벨을 표시합니다.
저전력 소모 (80 mA)
산업 표준 센서와 전기적 및 기계적으로 호환
주변 광의 필터링

사양
-레이저 스폿 크기: 12.7 mm x 0.15 mm
-각도 범위: + 17 °, -25 ° (센서 전면과 관련)
-검출 가능한 웨이퍼: 3 "~ 12", 다양한 두께와 코팅 (질화 웨이퍼 포함)
-감지 거리
: 1.5 "(38mm) 또는 맞춤형 (2"/ 3 "/ 4 ")
-로봇암 부착형


기술영업부 팀장 조기영
이메일 : gyjo@koyo.co.kr
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Waffer,LCD Mapping Sensor(맵핑센서)

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